CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列

    CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

    更新時間:2023-07-24 10:54:08
  1. 詳細信息

產品特點:

PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

手動、自動兩種工作模式。

數字流量計控制,控制更準確。

符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

頂置真空倉,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式。

上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。

可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。

安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

技術參數:

型號

CPC-12

CPC-12plus

艙體尺寸

H120xΦ370mm ?

H120xΦ370mm

艙體容積

12.8L

12.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

射頻功率

10-300W可調

10-300W可調

氣體控制

質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

最大處理尺寸

Φ370mm圓盤

產品尺寸

L618xW520xH465mm

包裝尺寸

L750xW640xH570mm

時間設定

1-99分59秒

真空泵

抽速約8m3/h

氣體穩定時間

1分鐘

真空度

100pa以內

AC220V 50-60Hz??

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