等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調

遠程等離子源，自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸(長X寬X高)Φ150XH150mm

清洗數量

可同時清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL

氣體控制

標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

質量流量計（MFC）美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源

220V，50/60Hz，300W

質量保證

二年質保，終身維護

真空泵

Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵

最大入口壓力1.0個大氣壓（0psig），最大出口壓力1.4個大氣壓（6.5psig）

最高抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口